2023年8月16日上午，嘉善复旦研究院开园仪式在嘉兴嘉善世博开元名都大酒店成功举行。本次活动由嘉善县人民政府、复旦大学共同主办，嘉善复旦研究院承办。复旦大学党委书记裘新，复旦大学校长、中科院院士金力，复旦大学常务副校长许征，浙江省科技厅二级巡视员曹华芬，嘉兴市委书记陈伟，嘉兴市副市长倪沪平，嘉兴市委常委、嘉善县委书记江海洋，嘉善复旦研究院院长张卫等出席开园仪式，仪式现场近200人见证嘉善复旦研究院正式开园。开园仪式上，万业企业（600641）旗下嘉芯半导体设备科技有限公司（以下简称“嘉芯半导体”）与嘉善复旦研究院宣布达成战略合作。嘉善复旦研究院副院长丁士进先生、嘉芯半导体设备科技有限公司董事长兼CEO周伟芳女士等领导参加战略签约仪式。
根据战略合作协议的内容，双方将秉持“互利共赢、开放公平、自愿平等、优势互补”的原则，建立战略合作伙伴关系，共同携手就集成电路领域的科研合作、产业合作、人才交流等方面形成长期稳定的合作关系，充分发挥各自的资源优势，实现共同发展的战略目标，合作重点将围绕技术攻关、创新平台项目申报、科技成果转化推广、研发资源及服务开放共享、产-学-研深度融合等领域进行全方位互利合作，以期推动嘉善及浙江集成电路高质量“芯”发展。
从整体实力来看，战略合作双方在各自领域具有长期的经验和技术积累，具备广泛的优势集成与合作互补基础。嘉芯半导体作为本土半导体核心装备新锐企业之一，于2021年4月由半导体设备上市公司万业企业携手全球知名产业专家共同投资成立，总投资规模达20亿元，用地面积109亩，公司研发及制造刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等等集成电路成熟工艺的关键设备，产品范围覆盖芯片制造核心设备的多个重要品类。自2022年下半年开始，嘉芯半导体多次中标客户特色工艺生产线，包含氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、深槽刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机；高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD)、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）、钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）、铝铜金属溅射设备（Metal Sputter(Al/Ti/TiN)）、快速热处理（RTP）设备以及双燃烧+双水洗尾气处理等多类设备。
嘉善复旦研究院是为响应和落实《长三角一体化发展规划纲要》国家战略而建设的重点实验室。依托复旦大学集成电路全产业链学科优势，研究院致力于高能级创新载体建设、科研攻关与成果转化、赋能本地产业升级、打造协同创新生态、助力数字化改革。作为首轮重点建设国家集成电路创新中心浙江分中心，研究院承担着复旦大学人才资源、创新资源，产业资源与浙江区域特色经济精准对接的“桥头堡”，推动长三角一体化协同创新产业体系建设。
此次战略合作标志着双方在深化合作、协同发展的道路上树立起新的里程碑，充分发挥“产业+学研”双轮驱动功能，实现提升技术创新能力、科研成果加速转化的双向优势赋能，并同步链接校企在技术研发、人才培养、市场开拓等方面产生强大的协同效应，为我国集成电路行业的发展注入“芯”活力。
展望未来，嘉芯半导体将继续聚焦集成电路领域发展的前沿方向，与嘉善复旦研究院继续开拓深度合作，持续提升关键产业链、关键技术、关键产品能级，源源不断地为实现中国集成电路产业蓬勃发展贡献智慧与力量。
